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美国博曼BA-100镀层测厚仪技术参数配置报告
点击次数:362 发布时间:2018-08-02

一:美国博曼BA-100仪器介绍:

 

1:品牌:美国博曼(Bowman

 

2:仪器原理:

X射线荧光(XRF)仪器的工作原理是对被测样品发射一束一次X射线,样品的原子吸收X射线的能量后被激发并释放出二次X射线。每个化学元素会释放出特定能量的X射线。通过测量这些释放出的二次X射线的特征能量和强度,X射线分析仪就能够对被测材料的镀层厚度和成份提供定性和定量的分析。

 

3:仪器原产地:仪器整机原装美国进口,电脑与打印机国内配置。

 

4:仪器测量元素范围:元素钛(22)到铀(92)

 

5:仪器分析能力镀层:5层(4层镀层+基材)成份:最多同时测定25种

 

6:X射线管微聚焦型射线管标定功率50瓦,设计功率300瓦铜管体设计功率更高,铜管体相比不锈钢管体散热性能更好,寿命更长,(市场上有些采用不锈钢管,散热差,光管使用2年后容易出现漏油、掉电流)。

 

7:探测器类型及分辨率:采用高分辨率固态Si-PIN半导体探测器分辨率优于190eV,(搭载高分辨率的固态探测器,能量分辨率更高,测量相邻元素更精确,仪器无需二次滤波器,峰位长时间保持稳定,无需频繁地用标准片校准仪器;市场上有些老式的封气正比计数器分辨率约900eV正比计数探测器,能量分辨率很低,因为是气体探测器,容易受环境温湿度影响,时常出现干扰,仪器必须经常用标准片校准且仪器开机预热时间超长)。

 

8:仪器刚开机系统预热时间X射线管在出厂前经过严格调教,且采用半导体探测器,预热时间短,开机后5分钟内可以开始测量。(市场上有些仪器由于采用气态探测器,受温湿度影响大,需要等探测器稳定后才能开始测量,预热时间需要超过30分钟。

 

9:X射线光程(射线管窗口离开样品表面距离)小于2英寸博曼BA100采用了新的技术,具有更紧凑的光学结构,X射线光程最短,减少射线能量损失,样品激发效果,改善测量重复性.

 

10:滤波器4 位置一次滤波器,自由切换,博曼使用Si-PIN探测器具有足够好的元素分辨率,无需采用二次滤波器。

 

11:准直器圆形:Φ0.1、Φ0.2、Φ0.3、Φ0.6mm可选

 

12:X射线方向:从上往下。

 

13:视频放大倍数:30倍光学放大(50倍可选)

 

14:样品仓:开槽式

 

15:仪器测量报告一键导出,并且自动保存每一个测量点的图像,方便客户跟踪实际测量情况

 

16:激发电压0-50Kv连续可调

 

17:配备标准片库软件标准配备标准片库功能方便对标准样品进行管理和维护,记录标准片的信息、校准日期等。存储常用元素的波谱,方便校准档案的建立和维护。(市场上其它仪器没有这个功能)

 

18:校准档案建立权限开放给客户,客户可以根据实际情况随意添加新的校准档案和分析程序。

 

 

19:设备精度:

例:1:使用0.2mm准直器进行测量标准片,最小测量点直径应在0.3mm以上;

第一层镀层精度(相对于标准片):

1~20uin(0.025um-0.5um)误差为±5%~12%,20uin(0.5um)以上误差为±5%;

第二层镀层精度(相对于标准片):误差为±10%;

第三层镀层精度(相对于标准片):误差为±15%;

2:机器测量厚度范围为:(第一层厚度 x 10 + 第二层厚度) < 800 uinch微英寸(20um微米) ;超出此范围测量精度不在保障内。

 

20:质保期:仪器整机保修12个月,标准片易耗品不在保修范围内;仪器保修期内,使用仪器期间出现问题,我司收到通知后2个小时内,指导解决,如无法解决,12个工作小时内我司工程师上门服务;非正常操作所引起故障,如雷击、人为损坏,自然灾害等,均不在保修范围内。(如有特殊要求,可延长保修期)。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

二:以下是美国博曼半自动台与全自动台参数对比:


 

 

 

 

 

 

 

三:装机配件清单:

例:BA-100-P-MVM设备装机配件清单》

序号

配件名称

品牌/型号

单位

数量

备注

1

博曼Bowman BA-100测量主机

博曼/BA-100

1

 

2

50瓦钨靶微聚焦X射线管

博曼

1

 

3

高分辨率硅PIN探测器

博曼

1

 

4

开槽式自动XY样品台              (行程范围152x127mm(如选用SFF这项是开槽式固定台)

博曼

1

 

5

MVM多准直器组件:          0.1mm、0.2mm、03mm、0.6mm(如选用SFF这项只有0.2mm

博曼

1

 

6

30X光学放大镜头

博曼

1

 

7

可调节亮度LED样品照明

博曼

1

 

8

样品舱门安全互锁及Z轴防碰撞机构

博曼

1

 

9

可变焦距,,雷射聚焦组件如选用SFF这项是固定焦距,无法变焦

博曼

1

 

10

可容纳样品高度为5.5英寸(14厘米)Z轴行程132mm

博曼

1

 

11

基于FP的膜厚测量软件,内置元素标样数据库

博曼

1

 

12

4位置自动切换一次滤波器用于优化信噪比

博曼

1

 

13

联想(Lenovo)商用台式电脑一台

联想

1

 

14

操作系统 WINDOWS平台

微软/Win10 简体中文版

1

 

15

 联想19.5英寸显示器

联想

1

 

16

能量校准片

博曼

1

 

17

银标准片

Ag 80uinch(2.0um)

1

 

18

镍标准片

Ni 80 uinch(2.0um)

1

 

19

镍标准片

Ni160uinch(4.0um)

1

 

20

金标准片)

Au 2 uinch(0.05um

1

 

21

钯标准片

Pd 4 uinch(0.1um)

1

 

22

无限厚元素片 Ag、Ni、Au、Pd、Cu、Fe

纯元素片

6

 

23

美国博曼 BA100操作指南

博曼

1

 

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