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博曼推出7.5um毛细管镀层测厚仪
点击次数:250 发布时间:2018-07-12

W系列 使用多毛細管光學器件將X射線束聚焦到7.5μmFWHM,這是世界上使用XRF技術進行塗層厚度分析的小光束尺寸。 150X放大照相機用於測量該尺度上的特徵; 它配有一台次級低倍率相機,用於實時觀看樣本和鳥眼宏觀成像。 鮑曼的雙攝像頭系統可讓操作人員看到整個零件,點擊圖像以使用高級攝像頭進行放大,並精確定位要編程和測量的特徵。

一個可編程的XY平台,每個軸的精度小於+/- 1μm,用於選擇和測量多個點; 鮑曼模式識別軟件和自動對焦功能也可以自動完成。 該系統的3D映射功能可用於查看矽片等部件上塗層的形貌。

W系列儀器的標準配置包括7.5微米光學用鉬陽極管(鉻和鎢是可選的)和高清晰度,大窗口矽漂移探測器,其處理超過每秒2百萬計數。

W系列是Bowman的XRF儀器套件中的7th型號。 與產品組合中的其他產品一樣,它同時測量5塗層,並運行先進的Xralizer軟件,從檢測到的光子量化塗層厚度。 Xralizer軟件將直觀的視覺控制與省時的快捷鍵,廣泛的搜索功能和“一鍵式”報告相結合。 該軟件還簡化了用戶創建新應用程序的過程。

產品規格

X射線激勵:50 W Mo目標Flex-Beam毛細管光學元件@7.5 FWHM
可選:Cr或W
檢測器:大窗口矽漂移探測器135eV分辨率或更好
焦點深度:修正在0.02“
視頻放大:在150屏幕上使用微視相機的20X(高可達600x數碼變焦)
帶有宏觀相機的10〜20X
工作環境:68°F(20℃)至77°F(25℃)和高達98%RH,無冷凝
重量:190kg(420lbs)
可編程XYZ:XYZ行程:300mm(11.8“)x 400mm(15.7”)x 100mm(3.9“)
XY桌面:305mm(12“)x 406mm(16”)
X軸精度:2.5um(100u“); X軸精度:1um(40u“)
Y軸精度:3um(120u“); Y軸精度:1um(40u“)
Z軸精度:1.25um(50u“); Z軸精度:1um(40u“)
元素範圍:鋁13到鈾92
分析層和元素:每層中的5圖層(4圖層+基底)和10元素。
同時分析至多25元素
初級過濾器:4主要過濾器
數字脈衝處理:4096通道數位多道分析器-具有快速的成形時間。自動性號處理包含無效時間校正和波峰偏移修正
處理器:英特爾,酷睿i5 3470(3.2GHz),8GB DDR3內存,
Microsoft Windows 10教授,64bit等效
相機光學:1/4" CMOS-1280x720 解析度VGA
電源:150W,100〜240伏特; 頻率範圍47Hz到63Hz
外形尺寸(高x寬x):內部:735mm(29“)x 914mm(36”)x 100mm(4“)
外部:940mm(37“)x 990mm(39”)x 787mm(31“)
其他新功能:Z軸碰撞保護陣列
自動對焦和聚焦激光
模式識別
高級自定義數據傳輸
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